ASTM F1188-2002 用短基线红外线吸收法测定硅中填隙原子氧含量的标准试验方法

作者:标准资料网时间:2024-05-29 06:25:40 浏览:9212 来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardTestMethodforInterstitialAtomicOxygenContentofSiliconbyInfraredAbsorptionwithShortBaseline
【原文标准名称】:用短基线红外线吸收法测定硅中填隙原子氧含量的标准试验方法
【标准号】:ASTMF1188-2002
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:硅;分析;含氧量;红外设备;试验
【英文主题词】:infraredabsorption;infraredspectrophotometry;interstitialoxygen;oxygen;silicon
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thistestmethodcoversthedeterminationoftheinterstitialoxygencontentofsinglecrystalsiliconbymeasurementofaninfraredabsorptionbandatroomtemperature.Thistest
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:9P.;A4
【正文语种】:

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